品牌	日本大塚OTSUKA	型號	IG-2000
用途	工業(yè)氣體分析裝置

備有多種光學路徑長度的氣體腔（1cm～10m），可輕鬆更換，支援不同樣品。除各種光長度的氣體腔，另備有1cm+4.2m的組合式雙氣體腔。以簡單的切換操作，可在濃度差異極大的環(huán)境進行量測。配備標準的高感度、高反應(yīng)常溫DLaTGS檢測器。無須液態(tài)氮，即可在低波數(shù)領(lǐng)域到高波數(shù)領(lǐng)域之間進行量測。溫度壓力補正、溫度變化圖、光譜解析、多國語顯示等，並配備有危險警示等功能齊全的人性化軟體。內(nèi)建標準氣體資料庫?？汕腋哌M行定性、定量解析，並依照需求隨時可提供資料庫的更新?？纱钶d臺車以移動方式監(jiān)控，也可與配管搭配連結(jié)多點監(jiān)控尾氣處理設(shè)備的效率評價。單點7秒間隔的量測，同時解析約20種不同成分氣體。
工業(yè)用氣體微量水份分析儀 IG-1000V

定性、定量分析

光譜分析

■半導(dǎo)體、光電產(chǎn)業(yè)研發(fā)&製程，微機電系統(tǒng)（MEMS）
　? 計算從製程中所釋放出的PFCs（Perfluoro compounds）氣體的分解效率及排出量
　? 尾氣處理設(shè)備的效能評價
　? 多成分氣體的即時監(jiān)控
　? 分析腐蝕性氣體中的微量水分及微雜質(zhì)成份

	液態(tài)氮冷卻型M檢測器	室溫DLaTGS檢測器	電子冷卻型InAs檢測器
量測波數(shù)範圍	600 ~ 5000 cm-1	600 ~ 5000 cm-1	3500 ~ 5000 cm-1
干涉儀	邁克森干涉儀（Michelson Interferometer）
解析能力	0.5 ~ 32 cm-1
真空功能	無
氣體腔規(guī)格	可換式
氣體腔光長度	1cm, 10cm, 2m, 4.2m, 10m
尺寸*	460（W）×460（D）×478（H）mm
重量*	約30kg

*未包含氣體腔部份

■C2F6氣體在CVD真空槽內(nèi)的潔淨效率
■氣體腔 （1cm,10cm,2m,4.2m,10m）
■組合式雙氣體腔 （1cm+4.2m）
■壓力轉(zhuǎn)換器
■氣體腔增溫器
■氣體腔封蓋
■局部排氣箱
■進排氣切換組件
■真空幫浦（IG-1000V用）
■隔膜幫浦