產(chǎn)品品牌：

PHYS

產(chǎn)品型號(hào)：

OWT-200

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
    OWT-200采用PHYS獨(dú)有技術(shù)，對(duì)透明、半透明、不透明幾乎所有的材料的厚度，TTV，LTV,彎曲度，平整
度進(jìn)行無接觸測(cè)量，其對(duì)透明、半透明材料的高測(cè)量的性價(jià)比在同類測(cè)試儀器中是無可比擬的。
特征
■無接觸無損傷測(cè)量
■高度及重復(fù)性
■測(cè)量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎所有材料的
厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV
■抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好                                      
■強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示
■一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無接觸測(cè)量
■超高測(cè)試速度

 
技術(shù)指標(biāo)
      ■測(cè)試尺寸：50mm-200mm.
        ■厚度測(cè)試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um
  ■ 厚度測(cè)試：+/-0.1um
 ■ 厚度重復(fù)性：0.050um
  ■ TTV 測(cè)試: +/-0.1um
 ■ TTV重復(fù)性: 0.01um
  ■ Warp/Bow: 0.2um
  ■ Warp/Bow重復(fù)度: 0.5um
  ■測(cè)量時(shí)間: <100秒
  ■ 材料：透明、半透明、不透明幾乎所有的材料
  ■ 尺寸: 560X650X400mm
  ■ 電源：220V 50HZ  300W

       
 主要客戶：歐洲、美洲、臺(tái)灣等地區(qū)藍(lán)寶石生產(chǎn)企業(yè)

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