■三軸驅(qū)動系統(tǒng)靠近質(zhì)量中心，減小了慣性偏擺，即使在高加速度狀態(tài)下也能運動的平穩(wěn)性。光柵系統(tǒng)距被測工件近，的減小了阿貝誤差。
系列采用可移動工作臺式結(jié)構(gòu)高穩(wěn)定性和測量
■結(jié)構(gòu)具有剛性高，穩(wěn)定性好，外界干擾能力強
■大慣量移動軸采用高剛性傳動，即使對大型工件測也具備高運動加速度
■三軸驅(qū)動系統(tǒng)靠近質(zhì)量中心，減小慣性偏擺，在高加速度狀態(tài)下也能運動平穩(wěn)性
■合理的結(jié)構(gòu)布局使光柵系統(tǒng)距被測工件近，的減小了阿貝誤差。
■傳動系統(tǒng)振動隔離設(shè)計使機器運動時也能把機械振動對測量影響降小。
■三軸導(dǎo)軌均采用優(yōu)質(zhì)花崗巖，使三軸具有相同溫度特性，具有良好溫度穩(wěn)定性、實效變形能力，剛性好、動態(tài)幾何誤差變形小。
■導(dǎo)軌采用封閉式結(jié)構(gòu)設(shè)計，機器剛性和穩(wěn)定性，即使長時間工作也能保持高，機器優(yōu)異動態(tài)特性。
■三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高空氣軸承，運動更平穩(wěn)。
參數(shù)表 | |||||
型號 |
| 866 | 086 | 286 | 2108 |
測量范圍 | X軸 | 600mm | 800mm | 800mm | 1000mm |
Y軸 | 800mm | 1000mm | 1200mm | 1200mm | |
Z軸 | 600mm | 600mm | 600mm | 800mm | |
外形尺寸 | 長L | 1950mm | 2250mm | 2650mm | 2650mm |
寬W | 1400mm | 1600mm | 1600mm | 1860mm | |
高H | 3180mm | 3180mm | 3180mm | 3600mm | |
分辨率 |
| 0.1um | |||
示值誤差E（） |
| 1.2+L/300 | 1.3+L/300 | 1.3+L/300 | 1.6+L/300 |
空氣壓力 |
| 0.6～0.8 MPa | |||
承受重量 |
| 300kg | 350kg | 350kg | 500kg |
儀器重量 |
| 5500kg | 6800kg | 7500kg | 9000kg |
* 產(chǎn)品技術(shù)數(shù)據(jù)如有更新，恕不另行通知 | |||||
