磁控濺射儀 （不含泵） 型號(hào):LH12-SC-SU-I庫(kù)號(hào)：D264255

磁控濺射儀 （不含泵） 型號(hào):LH12-SC-SU-I庫(kù)號(hào)：D264255

磁控濺射儀 （不含泵） 型號(hào):LH12-SC-SU-I庫(kù)號(hào)：D264255

磁控濺射儀 （不含泵） 型號(hào):LH12-SC-SU-I庫(kù)號(hào)：D264255

參數(shù) 指

石英倉(cāng)尺寸 150X120MM

樣品臺(tái)尺寸 70mm

濺射面積 50mm

高真空度 5pa

可通氣體 氬氣，氮?dú)獾榷栊詺怏w

高濺射速度 8nm/min

整機(jī)功率 200W

機(jī)器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)

參數(shù) 指

石英倉(cāng)尺寸 150X120MM

樣品臺(tái)尺寸 70mm

濺射面積 50mm

高真空度 5pa

可通氣體 氬氣，氮?dú)獾榷栊詺怏w

高濺射速度 8nm/min

整機(jī)功率 200W

機(jī)器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)

參數(shù) 指

石英倉(cāng)尺寸 150X120MM

樣品臺(tái)尺寸 70mm

濺射面積 50mm

高真空度 5pa

可通氣體 氬氣，氮?dú)獾榷栊詺怏w

高濺射速度 8nm/min

整機(jī)功率 200W

機(jī)器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)

參數(shù) 指

石英倉(cāng)尺寸 150X120MM

樣品臺(tái)尺寸 70mm

濺射面積 50mm

高真空度 5pa

可通氣體 氬氣，氮?dú)獾榷栊詺怏w

高濺射速度 8nm/min

整機(jī)功率 200W

機(jī)器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)

參數(shù) 指

石英倉(cāng)尺寸 150X120MM

樣品臺(tái)尺寸 70mm

濺射面積 50mm

高真空度 5pa

可通氣體 氬氣，氮?dú)獾榷栊詺怏w

高濺射速度 8nm/min

整機(jī)功率 200W

機(jī)器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)

參數(shù) 指

石英倉(cāng)尺寸 150X120MM

樣品臺(tái)尺寸 70mm

濺射面積 50mm

高真空度 5pa

可通氣體 氬氣，氮?dú)獾榷栊詺怏w

高濺射速度 8nm/min

整機(jī)功率 200W

機(jī)器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)

參數(shù) 指

石英倉(cāng)尺寸 150X120MM

樣品臺(tái)尺寸 70mm

濺射面積 50mm

高真空度 5pa

可通氣體 氬氣，氮?dú)獾榷栊詺怏w

高濺射速度 8nm/min

整機(jī)功率 200W

機(jī)器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)

參數(shù) 指

石英倉(cāng)尺寸 150X120MM

樣品臺(tái)尺寸 70mm

濺射面積 50mm

高真空度 5pa

可通氣體 氬氣，氮?dú)獾榷栊詺怏w

高濺射速度 8nm/min

整機(jī)功率 200W

機(jī)器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)