氣體流量控制器XLRB-D07-19B氣體流量控制器XLRB-D07-19B

質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter縮寫為MFM)用于

對(duì)氣體的質(zhì)量流星進(jìn)行測(cè)量;質(zhì)量流量控制器

(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對(duì)氣體的

質(zhì)量流量進(jìn)行測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體微電

子工業(yè)、te種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)

藥、和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重

要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括;電子工藝設(shè)

備,如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺

射、離子注入;以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微

反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜

儀及其它析儀器。

( 0~ 5,10,20,30,50,100,200,

流量規(guī)格

300,500) CCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) LM

2

準(zhǔn)確度

士1 % F.. (20,30LM: +2

% F..)

+0.5 % F.. (20,30LM:

3

線性

+2 % F..J

4

復(fù)

+0.2 % F..

5

響應(yīng)時(shí)間

s2 sec

≤10LM: 0.1 ~ 0.5 MPa

6

工作壓差

(14.5~72.5 psid)

范

> 10LM: 0.1~ 0.3 MPa

(14.5~43.5 psid)

7

大工作

1 MPa

8

耐壓

3 MPa (435.1 psig)

9

工作環(huán)境

5°C~45°C

溫度

0V~+5.00V.

10

輸入輸出

(輸入阻抗大于100K,輸出電

號(hào)

流不大于3mA)

11

電源

+15V 50 mA; -15V 200

mA

12

外形尺寸

見圖4

13

重量

0.95 kg

注意:質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮

氣(N2)定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為; CCM (準(zhǔn)升/);

LM (準(zhǔn)升/)

準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:溫度--- 273.15K (0°C );

氣壓- 101325 Pa (760mm

Hg)，單位CCM

和"ml /min, 0°C,1atm”等同，單位LM和"L/

min, 0°C,1atm"等同。

F.. (Full cale):滿量程值

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