UV紫外臭氧清洗過(guò)程提供一種簡(jiǎn)單，經(jīng)濟(jì)，快速獲得超潔凈的表面，去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁*等）上的有機(jī)污染物。特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí)，紫外清洗非常理想。獲得超潔凈的表面，只需要在傳統(tǒng)清洗后，再用紫外臭氧清洗過(guò)程幾分鐘就可以啦。 紫外臭氧清洗可以去除：
皮膚油脂，有機(jī)硅油和油脂，助焊劑，殘留的光刻膠，膠水溶劑，碳等。 怎樣說(shuō)是“超”潔凈？
接觸角測(cè)量方法4－5度。適用AES和ESCA測(cè)量細(xì)微的峰值。使用蒸汽測(cè)試，在冷凝和蒸發(fā)時(shí)形成一致的彩虹裝的條紋。通常情況下，使用清洗或是超聲清洗工序后，清潔關(guān)鍵表面認(rèn)為完成。紫外臭氧清洗提供一種新的清洗尺度。在傳統(tǒng)清洗工序后加入紫外清洗的應(yīng)用，產(chǎn)品的性能和可靠性的提升不斷的證明這種新的清洗尺度的價(jià)值。 紫外臭氧清洗工作原理：
UVOCS清洗設(shè)備的是低壓石英汞燈，產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生，有機(jī)污染物分子在吸收254nm波長(zhǎng)紫外線后被激發(fā)或分解。激發(fā)的有機(jī)污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體，比如CO2,H2O等。整個(gè)過(guò)程在室溫**發(fā)生，并且只需要1到幾分鐘完成。 *注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會(huì)變黃。這種現(xiàn)象是由于基材吸收UV能量， 而不是一種涂層。這種氧化鋁在加熱情況下會(huì)轉(zhuǎn)化為他原來(lái)的顏色。
**注2：清洗元件溫度的上升取決清洗過(guò)程的時(shí)間長(zhǎng)度。在大多數(shù)應(yīng)用，元件溫度可以視為室溫。 關(guān)鍵特性:
·間歇式燈泡工作方式。燈和定時(shí)器通過(guò)關(guān)閉門(mén)來(lái)觸發(fā)。
·滑行部件托盤(pán)－光滑－低震動(dòng)，滾珠軸承系統(tǒng)－高度到1.5英寸。
·堅(jiān)固耐用，全部不銹鋼結(jié)構(gòu)
·長(zhǎng)壽命。低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV，促進(jìn)快速氧化，去除微量的有機(jī)殘留物。
·全面UV保護(hù)讓設(shè)備操作更安全。
·更低設(shè)備采購(gòu)成本和操作成本。
·0-999秒/分鐘/小時(shí)定時(shí)器，能夠控制。燈和定時(shí)器通過(guò)門(mén)關(guān)閉來(lái)觸發(fā)。
·臭氧排氣護(hù)罩：UVOCS托盤(pán)型號(hào)有一個(gè)臭氧護(hù)罩，可以允許UVOCS清潔設(shè)備放在你的生產(chǎn)線或是設(shè)備，和過(guò)程相關(guān)設(shè)備放在一起。這會(huì)使得材料的再污染小化。一個(gè)3英寸排氣出口內(nèi)置在護(hù)罩的后面，可以連接到你的排氣系統(tǒng)。沒(méi)有提供排氣風(fēng)扇。小排氣量需求為100CFM.(立方英尺/分鐘)
·在操作過(guò)程結(jié)束時(shí)有蜂鳴聲。
·UV "ON"指示燈和可見(jiàn)窗口。
·操作簡(jiǎn)單：設(shè)定定時(shí)器，打開(kāi)門(mén)，抽出托盤(pán)，將元件放在托盤(pán)上。將托盤(pán)滑入并關(guān)閉門(mén)。在清洗操作過(guò)程結(jié)束有蜂鳴聲。打開(kāi)門(mén)，移開(kāi)全部的清洗元件。
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