PriMaster PriMaster HR PriMaster MOT PriMaster HR MOT
氣動(dòng)軸承徑向、軸向0.05微米
編碼器分辨率 0.36秒 0.036秒 0.36秒 0.036秒
編碼器 0.5秒 0.2秒 0.5秒 0.2秒
工作方式手動(dòng)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)旋轉(zhuǎn)、定位
總體
單次測(cè)量
多次測(cè)量
0.75秒
0.5秒
0.5秒
0.2秒
0.75 秒
0.5秒
0.5秒
0.2秒
光電自準(zhǔn)直儀,D57mm EFL=500mm
分辨率:0.01秒
重復(fù)性:&plun;0.1秒 EFL=500mm
分辨率:0.01秒
重復(fù)性:&plun;0.1秒 EFL=500mm
分辨率:0.01秒
重復(fù)性:&plun;0.1秒 EFL=500mm
分辨率:0.01秒
重復(fù)性:&plun;0.1秒
測(cè)量模式:測(cè)量。反射法測(cè)量棱鏡任意相鄰兩個(gè)面的夾角,測(cè)量范圍0-360°
可擴(kuò)展測(cè)量功能 法測(cè)量棱鏡的偏轉(zhuǎn)角及塔差、玻璃材料折射率等。


