微納（香港）科技有限公司
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產(chǎn)品特性:
1，采用白光共聚焦色差技術，可獲得納米級的分辨
2，測量具有非破壞性，測量速度快，度高
3，測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
4，尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
5，不受樣品反射率的影響
6，不受環(huán)境光的影響
7，測量簡單，樣品無需特殊處理
8，Z方向,測量范圍大：為
主要技術參數(shù)：
1，掃描范圍：400mm×600mm(可選600mm*600mm)
2， 掃描步長：5nm
3，掃描速度：1m/s
4， Z方向測量范圍：27mm
4， Z方向測量分辨率：2nm
產(chǎn)品應用：
MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)
