＆Oslash；通過自動定位功能操作性測量樣品時(shí)，以往需花費(fèi)約10秒的樣品對焦，現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成，大大樣品定位的操作性。
?。slash；微區(qū)膜厚測量通過縮小與樣品間的距離等，致使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度膜厚測量的。
?。slash；多達(dá)5層的多鍍層測量使用薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)片也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層測量。
?。slash；廣域觀察系統(tǒng)（選配）可從250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。
?。slash；對應(yīng)大型印刷線路板（選配）可對600×600mm的大型印刷線路板進(jìn)行測量。
?。slash；位與以往機(jī)型相比，既了功能性又降低20%以上的價(jià)格。
?。slash；微區(qū)膜厚測量通過縮小與樣品間的距離等，致使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度膜厚測量的。
?。slash；多達(dá)5層的多鍍層測量使用薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)片也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層測量。
?。slash；廣域觀察系統(tǒng)（選配）可從250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。
?。slash；對應(yīng)大型印刷線路板（選配）可對600×600mm的大型印刷線路板進(jìn)行測量。
?。slash；位與以往機(jī)型相比，既了功能性又降低20%以上的價(jià)格。
