集40多年的探針輪廓技術于一身，該系統(tǒng)在行業(yè)內(nèi)的表現(xiàn)，以重現(xiàn)性和標準掃描范圍而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項，用于程序化測量、低探針力表征和細節(jié)分析
臺階儀 Dektak 150 表面輪廓儀（探針式）
規(guī)格：
測試技術：探針輪廓技術
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，U；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg
使用N-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺：手動X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動校平；
可選Y自動移動載物臺，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；
可選X-Y自動移動載物臺，150 mm行程；
1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率
計算機系統(tǒng)： 主機使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
臺階檢測軟件
可選應力測量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動隔離裝置
可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm(2.1英寸)
每次掃描數(shù)據(jù)點 多12萬數(shù)據(jù)點
樣品厚度 90 mm (4英寸)，取決于配置
晶圓尺寸 150 mm(6英寸)
臺階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍：標準524um(0.02英寸)；可選1mm
垂直分辨率：1A（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
本公司經(jīng)營探針輪廓儀（臺階儀）DEKATK，質(zhì)量，歡迎咨詢洽談。
鉑悅儀器(上海)有限公司 北京辦事處
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